青岛高纯气体厂家对高纯气体管道系统中使用的阀门的严密性有非常严格的要求。目前，国内实验室高纯气体管道的阀门基本采用SS316L不锈钢制造。青岛高纯气体厂家表示，阀门类型包括减压阀、隔膜阀、波纹管阀和球阀。
减压阀又称减压器调压阀，是专门控制气体的压力调节作用。波纹管阀的严密性优于球阀。当气体流过阀门时，没有与外部环境接触的填料，因此没有泄漏现象：除了与波纹管阀相当的严密性外，隔膜阀还具有阀体死体积小、易吹、污染少的特点，因此适用于对气体纯度和生产工艺要求严格或危险性大的气体。
高纯气体一般采用夹套接头连接和自动氩弧轨道焊接，焊接方式通常采用插入焊接和焊接，插入焊接的优点是管道对中，焊接方便，但缺点是管道与插座之间有间隙，会有死空间不易吹走杂质，影响高纯气体质量。
因此，对于要求严格的高纯气体，应采用对接焊接连接，要求内表面无焊缝，即施工时不得使用不锈钢焊丝，焊缝应采用母材本身熔化填充。
高纯气体管道与用气设备之间应采用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。
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