1.主要成分含量须大于一定的数值。
2.每一杂质成分的含量须小于某一数值。
电子业用气.零点气体用于仪器仪表校准.标准气配气.色谱载气等均须符合上述要求，可作为高纯气体。
高纯气的纯度=主组分含量=1-∑杂质含量。实际上，用实验方法直接准确地测定高纯气体中主要成分的含量很难。一种类似CO2的产物，通过规定的方法，可以直接测定出“纯度值”，但是这个数值还含有水.酸性气体和其他与强碱有关的成分。因此，我们认为，该“纯度”在理论上也不是气体纯度。
另一种方法则是通过测定气体中的全部杂质组成来计算气体纯度，也是很难达到的。
所以，目前市场上高纯气体产品的“纯化”意味着什么？笔者认为，所谓高纯气体纯度是指通过规定的方法直接测量或扣除特定杂质后计算得到的浓度值。这一条款是生产者和使用者根据生产过程和使用目的进行协商的结果。
评定青岛高纯气体质量时，除进行“纯度”指标评价外，还要按规定杂质逐个核对。任何超过规定的要求，均不得称为合格。
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